资本观察

一把“化学刻刀”磨了二十年,中国半导体材料终于掰开了卡脖子的手

7月19日,山东滨州,一场发布会没有太多喧嚣,却足以让整个半导体产业链为之侧目。

滨化集团在这一天宣布,旗下大晟芯材成功实现6N级(99.9999%)高纯氟化氢的规模化量产。这意味着一款被海外企业垄断了整整二十年的芯片关键材料,终于有了中国人自己的稳定产能。

高纯氟化氢,在芯片制造中扮演的角色丝毫不亚于光刻机。它是晶圆蚀刻、清洗环节不可或缺的“化学刻刀”——一粒直径不足头发丝万分之一大小的金属尘埃,就足以让整片造价不菲的晶圆直接报废。而6N级高纯氟化氢,正是适配28纳米及以下所有先进制程的核心必需材料。

过去很长一段时间里,这块市场被西方头部半导体材料企业牢牢攥在手中,垄断了全球约80%的份额。国内多数产品长期停留在5N级(99.999%),从5N到6N,差的不是多提纯一次,而是一整套全新纯化体系的建立。

滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾透露,实现6N纯度的关键,在于攻克氟化氢中痕量水、二氧化碳、含氧有机物等互溶杂质。企业通过设计多重精馏耦合系统、优化塔内件和操作窗口,在特定压力梯度下实现了碳氧杂质的深度脱除。同时自主开发了密闭精准取样系统和高灵敏分析方案,将环境本底干扰降至最低。

这并非单点突破,而是工艺、工程、检测、充装四个方面的系统化技术攻关。目前,滨化已完成50吨/年高纯氟化氢钢瓶充装线的建设与调试,并于7月16日取得山东省特种设备检验研究院颁发的气瓶充装许可证。

这款产品的市场价格目前已在200万元/吨以上。高纯氟化氢作为滨化首款落地的电子特气产品,关键金属离子杂质含量低于1ppb,与国际一流水平接轨。依托过硬的产品品质,企业已开始向国内外重点客户进行产品推介。

几乎同一时间,滨化集团联合天津大学共同完成的超高纯电子级氢氟酸项目,也获评国际先进水平。产品指标优于SEMI-G5级,已导入14纳米先进制程头部客户。据公开资料显示,滨化是国内唯一已正式投产6N级高纯氟化氢气体的公司。

资本市场的反应同样迅速。7月23日,滨化股份港股盘中涨超13%,高见3.42港元,创上市以来新高。

“卡脖子”三个字,在半导体领域从来不是夸张的比喻。从5N到6N,从依赖进口到自主量产,每一步跨越背后都是无数技术关隘的攻克。这把被国外垄断了二十多年的“芯片刻刀”,中国人终于也能自己磨了。而且,磨得够锋利。

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